半导体测试分布式测试
MSA 600
表面形貌、动态特性分析及可视化是显微结构(如MEMS器件)进行测试和开发的关键。这对于验证有限元算法、确定串扰影响和测量表面形变等都至关重要。
基于MEMS系统的MSA-600显微式激光测振仪,集多种测量功能于一体,其不仅能测量面内振动和面外振动,还能测量表面形貌。系统具有较.高的灵活性和精度,以满足显微结构未来的发展需要。显微式激光测振仪可提供精确的三维动态和静态响应数据,在降低开发和制造成本的同时提高产品性能,从而缩短设计周期,简化故障处理,提高产品产量。


高性能激光多普勒测振仪能快速进行实时测量,位移分辨率达亚pm级。白光干涉仪可以在几秒钟内提供数以百万计的三维表面形貌数据。MSA-600的用户界面直观,操作简便,是一款用于研究、开发和质量控制的功能强大的光学测量系统。系统易于集成至常见的商用探针台上,从MEMS原型设计到测试和故障排除,其能在各个开发阶段给您提供帮助,从而降低生产成本并缩短产品上市时间。

√  专用于显微结构的一体化光学测量工作站
  真正的实时测量(无需数据后处理)
  亚pm级的位移分辨率
  快速测量,振型可视化
  操作简便、直观
  自动化测试系统,易于集成至探针台

1.  经济实惠的入门级设备:MSA-050
2.  用于测量频率高达 2.4 GHz 的面外振动的超高频激光测振仪UHF-120
3.  能高分辨率进行面内和面外3D振动分析,其振幅分辨率在亚皮米范围内的MSA-100-3D

业内较.佳的激光测振采集分析软件,亦可实现非接触动态应力应变测量。

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